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真空高低温桌面型探针台高精度

更新时间： 2024-12-20
产品型号： LH-TTPX
简单描述
真空高低温桌面型探针台高精度。探针台采用模块化设计，满足广泛的实验需求，LH-TTPX是德世提供的一款通用高性能入门级探针台，出厂时可根据客户需求配置成液氦制冷或者液氮制冷。各种选件根据研究人员需要选择，可选背光样品台和样品支架，可实现I-V、C-V、微波等测试测量，能满足绝大多数实验需求。安装多个温度传感器，保证温度测量推确性以及重复性。

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详细介绍

品牌	其他品牌	产地	国产

真空高低温桌面型探针台高精度TTPX探针台采用模块化设计，满足广泛的实验需求，LH-TTPX是德世提供的一款通用高性能入门级探针台，出厂时可根据客户需求配置成液氦制冷或者液氮制冷。各种选件根据研究人员需要选择，可选背光样品台和样品支架，可实现I-V、C-V、微波等测试测量，能满足绝大多数实验需求。安装多个温度传感器，保证温度测量推确性以及重复性。样品处于真空环境中，确保一些亲水性材料表面不冷凝，选件可实现样品从制备到测量可处于真空环境中。LH-TTPX可以使用液氮和液氦两种低温液体，根据客户需求出厂时配置好。

真空高低温桌面型探针台高精度

　　1.液氮/液氮冷却样品台，蒸发后的低温氮气/氦气冷却防辐射屏

　　2.防辐射屏包围着样品台带红外吸收窗口

　　3.使用液氮/液氦作为冷源

温度属性
蕞低温度	控温范围	配置
78K	80K-500K	6个探针臂
80K	80K-675K	高温选件

控温稳定性
温度范围	液氦	液氮
蕞低温不控温	±15mk	±20mk
<10K	±50mK
10K-100K	±20mk	±50mK
100K-250K	±15mk	±50mK
251K-350K	±15mk	±100mK
351K-675K	±50mK	±100mK

真空性能
室温	<5X10^-3Pa
蕞低温	<5X10^-4Pa
最高温	<5X10^-2Pa
注：以上数据使用600L涡轮分子泵组得到

样品振动
X方向	<300nm
Y方向
Z方向

　　时间参数：

　　◆抽空时间：20min(与泵组相关)

　　◆降温时间：液氦从室温到蕞低温1h，液氮从室温到蕞低温30min

　　◆升温时间：液氦从蕞低温到室温1h，液氮从蕞低温到室温30min

　　样品台：

　　◆标准样品台：51mm(2in)

　　◆最大样品台：102mm(4in)选配

　　◆样品台背光：通光孔直径6mm

　　◆样品台类型：三同轴样品台(标配)、接地样品台(选配)、0.15T垂直磁场样品台(选配)

　　探针：

　　◆探针数量：最多6个

　　◆探针传感器：硅二极管(液氦)，PT100(液氮)，监视探针温度

　　◆探针托温度：<35K(液氦)，<100K(液氮)

　　◆探针热沉：热沉到样品台

　　◆探针臂：热沉到防辐射屏

　　◆DC/RF探针：绝缘电阻>100GΩ,漏电流<100fA

　　◆微波探针：DC到67GHz,用于微波测量

　　◆光纤探针：用于光电测量

　　探针位移：

　　◆X方向行程：75mm,移动分辨率3μm

　　◆Y方向行程：25mm,移动分辨率5μm

　　◆Z方向行程：25mm,移动分辨率5μm

　　显微镜配置

　　3400万像素CCD相机

　　支持4K视频录制

　　4条水平线4条垂直线，带测量软件

　　标准HDMI接口

　　电子缩放1x-10x

　　景深同轴光镜头，带LED同轴光源

　　光学倍数0.7-5X，连续变倍北7.1:1

　　电子倍数20-200x

　　成像距离140-180mm

　　景深高度：10mm

　　观看面积1mm-18mm

　　制冷剂消耗：

　　◆室温到蕞低温度：3到4L(液氦)，2到3L(液氮)

　　◆液氦消耗(5K):≈3L/h

　　◆液氮消耗(80K):≈0.5L/h

探针台配置

温度配置
样品台传感器加热器	液氦：硅二极管传感器、100W加热器
样品台传感器加热器	液氮：PT100传感器、100W加热器
防辐射屏传感器加热器	PT100传感器、100W加热器
探针臂传感器	液氦：硅二极管传感器（安装在其中一个针臂）
探针臂传感器	液氮：PT100传感器（安装在其中一个针臂）
温度控制
控温仪型号	斯坦福CTC100四通道温度控制器
低温输液管	液氮液氦通用低温输液管(1.5m，其它长度可选配)，带流量阀控制
低温液体储存罐	液氦:100L液氦自增压低温罐(可选更大容量)
低温液体储存罐	液氮：30L液氮自增压低温罐（可选更大容量）
支架
桌面	长宽高657X557X76mm
气浮隔振	可选配
真空腔体
材料	铝本色氧化(可选不锈钢电镀铬)或铝电镀镍
外部直径高度	220x150mm
内部直径高度	190x150mm
可视窗净尺寸	φ65毫米，红外吸收石英窗口
真空抽口	KF16
真空阀门	KF16手动挡板阀
放气阀	手动放气阀
预留接口	KF25接口，可装真空计等其它选件
探针引出口	六个真空三同轴接口(DC探针，选择其它探针，接口不同)
防辐射屏
材料	铜镀金
外径	134mm
可视窗净尺寸	50mm,配红外吸收窗口
抽空泵组
分子泵组	可选(客户可自备)
机械泵组	可选(客户可自备)
抽空减振块
抽空减振块	KF25进出气口，重量15公斤
配电要求
单相电压	220V/50Hz
单相功率	1KW

样品托

　　接地样品托

　　直接安装在样品台，尽量减小对样品的温度梯度，与整个探针台电器接通

真空高低温桌面型探针台高精度

　　注：可选圆形和方形，性能无差异

　　同轴样品托

　　样品托表面与探针台整体电器绝缘，通过BNC接口穿过真空室

真空高低温桌面型探针台高精度

　　注：可选圆形和方形，性能无差异

　　三同轴样品托

　　在同轴样品托的基础上增加GUARD层，层与层之间电器绝缘，提供保护电压层，减小漏电流

真空高低温桌面型探针台高精度

　　注：可选圆形和方形，性能无差异

样品托配置

	类型	接口	尺寸
设备包括	接地样品托	无	φ51mm(2in)
选件	接地样品托	无	φ51mm(2in)
	同轴样品托	BNC	φ51mm(2in)
	三同轴样品托	TRIAX	φ51mm(2in)
注：其它尺寸样品托接受定制

真空高低温桌面型探针台高精度

样品托性能

	电绝缘	温差	温度
接地样品托	导通	0.1K-0.2K	400K
同轴样品托	>100MΩ	≈1K	400K
三同轴样品托	>100GΩ	≈1K-2K	400K
1.电绝缘测试是在10V电压情况下，测量导电面之间的电阻 2.温差是样品托表面和样品台之间存在的温差。样品的热接触好坏以及样品大小，都会对温差产生影响，热接触不充分样品负载大，会增加温差。

接口

BNC	同轴样品托-配2耳BNC真空接口以极低温同轴线缆
TRIAX	三同轴样品托-配3耳三同轴真空接口以及低温同轴线

探针臂配置

德世标准的微操作针臂，能安装各种类型的探针，满足绝大部分科研需求，实现直流、射频、微波以及光学测量。

u灵活容易扩展的探针集合

u微操作针臂可以在全温区、真空环境、磁场环境下使用

u可以配置在德世任意款探针台上

u磁场探针台中更换成无磁材料针臂

u针臂上安装一个标准温度传感器，可以接受定制传感器类型

真空高低温桌面型探针台高精度

真空高低温桌面型探针台高精度

探针配置及用途

通用DC	小信号低噪声DC测量
高阻DC	高阻抗低漏电流测量
RF-1GHz	KHz和MHz级别的测量，测量带宽高达1GHz。可以升级到RF/微波-40GHz测量，需要购买一个GSG探针
RF/微波-40GHz	可实现高达40GHz的测量，同时也能实现兼容DC测量
RF/微波-67GHz	可实现高达67GHz的测量，同时也能实现兼容DC测量
光纤探针	给样品通光或者从样品采集光，可选波长，可选FC/APC或者SMA905接口

探针硬件配置

	接口	探针	内部线	水平角度	定制
通用DC	3耳BNC	SMA低温探针	微型低温同轴线，屏蔽层接地	±5°	探针针尖和直径
高阻DC	3耳triaxial	SMA低温探针	微型低温同轴线，屏蔽层接三同轴GUARD	±5°	探针针尖和直径
RF-1GHz	2.92mm(K型连接器)	SMA低温探针	2.92mm半刚性低温同轴线，屏蔽层接地	±5°	探针针尖和直径
RF/微波-40GHz	2.92mm(K型连接器)	40G-GSG探针	2.92mm半刚性低温同轴线，屏蔽层接地	±5°	GSG针尖距离
RF/微波-67GHz	1.85mm(Z型连接器)	67G-GSG探针	1.85mm半刚性低温同轴线，屏蔽层接地	±5°	GSG针尖距离
光纤探针	FC/APC或SMA905	无	光纤	±5°	类型、波长、入射角

	使用频率	绝缘电阻	电容	阻抗	反射	传输
通用DC	DC-50Hz	>100MΩ	<100pF	50Ω	无	无
高阻DC	DC-50Hz	>100GΩ	<100pF	无	无	无
RF-1GHz	DC-1GHz	>10MΩ	未测量	50Ω	<-20dB	<±1dB
RF/微波-40GHz	DC-40GHz	>1MΩ	未测量	50Ω	<-20dB	<±1dB
RF/微波-67GHz	DC-67GHz	>1MΩ	未测量	50Ω	<-20dB	<±1dB
光纤探针		无	无	无	无	无
注：绝缘电阻在10V电压下测量得到

探针性能

探针定位

	X轴	Y周	Z轴
行程	75mm(2in)	25mm(0.5in)	25mm(0.5in)
精度	3μm	5μm	5μm

SMA低温专用探针

真空高低温桌面型探针台高精度

　　德世为低温探针台设计专用探针，探针具有强大的通用性，能实现直流偏置、低/高频测量、低噪声屏蔽和低漏电流测量。SMA低温探针主体由陶瓷或者FR4制作，低温焊料焊接SMA接口，50欧姆阻抗传输线，可配置钨、P7或者铍铜探针，无氧铜热沉带，热沉到样品台

真空高低温桌面型探针台高精度

型号	材料	针尖直径（µm）
SMA-05D-01-W	钨	1
SMA-05D-05-W		5
SMA-05D-10-W		10
SMA-05D-20-W		20
SMA-05D-100-W		100
SMA-05D-01-BC	铍铜	1
SMA-05D-05-BC		5
SMA-05D-10-BC		10
SMA-05D-20-BC		20
SMA-05D-100-BC		100
SMA-05D-01-P7	Paliney7合金	1
SMA-05D-05-P7		5
SMA-05D-10-P7		10
SMA-05D-20-P7		20
SMA-05D-100-P7		100

针尖材料	描述	应用	导电性	接触电阻	寿命
钨(W)	常用，耐用	适用各种样品表面，能穿透氧化层	好	小	长
铍铜(BC)	常用，接触电阻小	沉金焊盘pad	优	最小	长
paliney7合金(P7)	专用，接触电阻小	精密的焊盘pad	好	小	长